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申请/专利权人：合肥开悦半导体科技有限公司
摘要：本发明公开了一种单温区加热盘，包括由上至下依次叠加设置的蓄热板、上云母片、电热丝、下云母片和底板，所述电热丝包括若干个不同直径的同心正弦波形曲线形电热丝，且若干个所述同心正弦波形曲线形电热丝依次连接，形成单一通路。同心正弦波形曲线的波形变化频率随加热盘直径的增大而增加，通过调整波形的变化频率，使热板中心处的电热丝分布密度低，在边缘处的电热丝分布密度高，加热更加均匀，提高烘烤过程的效率与质量。
主权项：1.一种单温区加热盘，其特征在于：包括由上至下依次叠加设置的蓄热板、上云母片、电热丝、下云母片和底板，所述电热丝包括若干个不同直径的同心正弦波形曲线形电热丝，且若干个所述同心正弦波形曲线形电热丝依次连接，形成单一通路，同心正弦波形曲线的表达式为： 其中，r为基圆半径；h为波峰高度；ω为圆频率，即每个圆周上的波峰个数；θ为角度值，θ∈[0，2π]；为相位角。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 合肥开悦半导体科技有限公司 一种单温区加热盘
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