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一种多室连续光学镀膜机 

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申请/专利权人:南京耶拿光电技术有限公司

摘要:本发明公开了一种多室连续光学镀膜机,属于光学镀膜技术领域,解决了现有工装夹具中正反丝杆与夹板无法控制基片完成旋转动作,同时工作夹具无法对异形基材进行夹持固定,从而使得薄膜厚度和均匀性无法保证的问题,包括:镀膜机体、基材承托机构、连续送料组件、光学镀膜组件,镀膜机体包括外壳体、镀膜机座、观察窗,外壳体内依次设置有基材净化腔以及光学镀膜腔;本发明实施例中,设置有基材承托机构,基材承托机构由角度调节电机、基材承托盘、基材限位部以及联动调节部组件,联动调节部的设置能够在基材承托盘运动时带动联动调节部运动,实现了带动基材旋转的同时光学镀膜组件同步镀膜作业,保证了镀膜的厚度和均匀性。

主权项:1.一种多室连续光学镀膜机,所述多室连续光学镀膜机包括:镀膜机体1,所述镀膜机体1包括外壳体11、镀膜机座12、观察窗14,所述外壳体11固定安装在镀膜机座12上,外壳体11的侧壁安装有观察窗14,外壳体11的一侧设置有进料口111,外壳体11内依次设置有基材净化腔112以及光学镀膜腔113;基材承托机构3,其特征在于,所述基材承托机构3用于承托并固定不同规格的光学镀膜基材;连续送料组件4,所述连续送料组件4设置在所述外壳体11内,且连续送料组件4贯穿所述基材净化腔112以及光学镀膜腔113,并与所述基材承托机构3连接;光学镀膜组件2,所述光学镀膜组件2设置在所述光学镀膜腔113内,光学镀膜组件2用于对基材进行光学镀膜;其中,所述基材承托机构3包括:角度调节电机31,所述角度调节电机31与连续送料组件4连接;与角度调节电机31固定连接的基材承托盘32;基材限位部33,所述基材限位部33设置在所述基材承托盘32内,且基材限位部33用于对基材进行限位锁定;联动调节部34,所述联动调节部34设置在所述光学镀膜腔113内,且联动调节部34分别与基材承托盘32以及光学镀膜组件2连接,联动调节部34用于调节所述光学镀膜组件2的镀膜位置。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 南京耶拿光电技术有限公司 一种多室连续光学镀膜机

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