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申请/专利权人:福建华清电子材料科技有限公司
摘要:本发明涉及陶瓷制备技术领域,提供一种高热导率氮化铝陶瓷的制备方法,解决现有技术制备的氮化铝陶瓷热导性能和抗弯曲强度相对较差的问题;包括以下制备步骤:1原料的准备;2球磨混合;3预热还原;4热压烧结。
主权项:1.一种高热导率氮化铝陶瓷的制备方法,其特征在于,包括以下制备步骤:S1、原料的准备:包括AlN粉末、Y2O3粉末、BN粉末和无水乙醇;S2、球磨混合:称取96-98重量份的所述AlN粉末以及2-4重量份的Y2O3粉末,加入球磨罐中,混合,获得第一混合粉体,按照所述第一混合粉体和Al2O3球粒的质量比为1:6-7的比例,加入Al2O3球粒,再按照所述第一混合粉体和无水乙醇的固液比为1:1-1.5的比例,将无水乙醇加入至球磨罐中,通入氮气保护,密封,球磨6-8h,获得浆料;S3、预热还原:将经步骤S2获得的所述浆料放入干燥炉中蒸发乙醇,得到第二混合粉体,将所述第二混合粉体过筛处理,然后加入至BN坩埚中,将所述BN坩埚放置在带有石墨发生器的烧结炉中,压力为45-50MPa,通入氮气保护,以100℃min的升温速率升高温度至1500-1550℃,保温1-4h,再以10℃min的降温速率冷却至室温,获得第三混合粉体;S4、热压烧结:将经步骤S3预热还原后的第三混合粉体转移至热压模具中,将所述热压模具放在真空热压烧结炉中进行热压烧结,压力为30-35MPa,以10℃min的升温速率升高温度至1750-1800℃,保温5-6h,再以5℃min的降温速率冷却至室温,获得所述高热导率氮化铝陶瓷;其中,所述热压模具由石墨制成,所述热压模具内部设有BN粉末涂层;所述BN坩埚包括坩埚体和坩埚盖,所述坩埚盖上设置有阵列孔。
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