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申请/专利权人：浙江中晶新材料研究有限公司

摘要：本发明涉及晶体材料加工设备技术领域，尤其涉及一种单晶硅籽晶一体化加工设备，包括：加工台架，所述加工台架上设置有多组用于辅助加工的移动件准备机构，所述准备机构设置在加工台架上且与用于对单晶硅进行加工前的固定与处理；加工机构，所述加工机构设置在移动件上且用于对籽晶进行套取，加工机构包括用于对籽晶进行套取的套取件、对籽晶表面进行处理的精制件以及配合套取件与精制件工作的固定件。实现籽晶的高效率提取成型并且减少籽晶的装夹次数，从而解决了籽晶在提取加工过程中所导致的晶向出现倾斜的技术问题。

主权项：1.一种单晶硅籽晶一体化加工设备，其特征在于，包括：加工台架（1），所述加工台架（1）上设置有多组用于辅助加工的移动件（11）；准备机构（2），所述准备机构（2）设置在加工台架（1）上且与用于对单晶硅进行加工前的固定与处理；加工机构（3），所述加工机构（3）设置在移动件（11）上且用于对籽晶进行套取，加工机构（3）包括用于对籽晶进行套取的套取件（31）、对籽晶表面进行处理的精制件（32）以及配合套取件（31）与精制件（32）工作的固定件（33）；所述准备机构（2）包括用于对单晶硅进行固定的紧固件（21）与调整单晶硅晶向的调整件（22），还包括设置在紧固件（21）一侧且用于对单晶硅上下端面进行打磨的双面研磨机（23）、设置在双面研磨机（23）周围的晶体定向仪（24）；所述套取件（31）包括设置在加工台（111）凹槽内通过伸缩气缸控制的下顶杆（316）与设置在下顶杆（316）上方通过伸缩气缸控制的上顶杆（317）；所述套取件（31）还包括两组用于在单晶硅上挖出籽晶的挖刀（311）、用于固定挖刀（311）的转环（312）、用于安装转环（312）进行转动连接且通过电缸控制在竖直方向上上下移动的升降架（313）、设置在升降架（313）上且用于驱动转环（312）的高速电机（314）、固定安装在转环（312）上用于打磨的磨刀（315）；所述固定件（33）包括多组滑动连接在转环（312）上的固定块（331）、固定连接在固定块（331）上方的第一楔块（332），设置在第一楔块（332）上方的第二楔块（333）、转动连接第二楔块（333）的升降环（334）、竖直转动连接在转环（312）上且下端螺纹连接升降环（334）的多组螺纹杆（335）、与螺纹杆（335）上端螺纹连接的接合板（336）。

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