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申请/专利权人：嘉庚创新实验室
摘要：本公开涉及一种二氧化铈抛光液及制备方法。所述二氧化铈抛光液包括以所述二氧化铈抛光液总重量计，0.5～10wt％的二氧化铈颗粒、0.1～5wt％的助分散剂和0.01～2wt％的分散剂，所述二氧化铈颗粒均匀分散在碱性溶液中，所述碱性溶液中包括酸碱度调节剂，所述酸碱度调节剂为选自氨水、四甲基氢氧化铵、乙二胺、异丙醇胺和六亚甲基四胺中的至少一种，且所述二氧化铈抛光液的pH值为8～13。本公开提供的抛光液中的二氧化铈能够在碱性条件下稳定分散，不仅能够提高抛光速率，而且能够降低因形状不规则给器件带来的划痕或者缺陷。
主权项：1.一种制备二氧化铈抛光液的方法，其特征在于，所述方法包括：将在酸性条件下制备的二氧化铈颗粒加入第一碱性溶液中，离心获得二氧化铈颗粒沉淀；将所获得的二氧化铈颗粒沉淀用含有助分散剂的水溶液浸渍得到混合体系，并进行第一机械分散得到二氧化铈溶液；将得到的二氧化铈溶液加入第二碱性溶液中，并进行第二机械分散得到二氧化铈碱性分散液；以及加入分散剂获得所述二氧化铈抛光液，所述第一碱性溶液和所述第二碱性溶液相同或不同，独立选自氨水溶液、四甲基氢氧化铵溶液、乙二胺溶液、异丙醇胺溶液和六亚甲基四胺溶液中的至少一种，pH独立设置为8~13，所述分散剂选自高分子分散剂和小分子分散剂中的至少一种，所述高分子分散剂选自阴离子型表面活性剂，所述阴离子型表面活性剂选自聚丙烯酸盐和聚甲基丙烯酸盐中的至少一种，所述小分子分散剂选自有机磺酸盐，所述助分散剂选自有机酸盐以及pH值为7~10的无机酸盐中的至少一种，所述有机酸盐选自羧酸的盐，所述无机酸盐选自碱金属的聚磷酸盐类和磷酸二氢盐，所述二氧化铈抛光液包括：以所述二氧化铈抛光液总重量计，0.5~10wt%的二氧化铈颗粒、0.1~5wt%的助分散剂和0.01~2wt%的分散剂，所述二氧化铈颗粒均匀分散在碱性溶液中，所述碱性溶液中包括酸碱度调节剂，所述酸碱度调节剂选自氨水、四甲基氢氧化铵、乙二胺、异丙醇胺和六亚甲基四胺中的至少一种，所述二氧化铈抛光液的pH值为8~13。
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权利要求：
百度查询： 嘉庚创新实验室 一种二氧化铈抛光液及制备方法
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