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申请/专利权人：北京华丞电子有限公司

摘要：本发明提供一种射频电源及其冷却控制方法，包括电源组件、冷却装置和控制装置，冷却装置包括流体通路和设置在流体通路上的调节阀，控制装置用于在电源组件为运行状态时根据冷却装置的温度检测值与预设目标温度之间的第一温度差值以及电源组件的当前功率与上一检测周期的功率之间的功率差值，对调节阀的开启程度进行调节；以及，在电源组件为非运行状态时，在出水温度高于出水温度阈值时降低冷却装置的可调目标温度，否则在入水温度低于或等于结露温度时提高可调目标温度；再对调节阀的开启程度进行调节，以使冷却装置的温度检测值趋近于可调目标温度。本发明的射频电源能够提高电源组件温度的稳定性并避免过热或结露。

主权项：1.一种射频电源，其特征在于，所述射频电源包括电源组件、冷却装置和控制装置，所述冷却装置包括流体通路和设置在所述流体通路上的调节阀，所述流体通路用于与冷源连接，以使所述冷源提供的冷却液在所述流体通路中流动并吸收所述电源组件产生的热量，所述调节阀用于调节所述流体通路中所述冷却液的流量，所述控制装置用于在所述电源组件为运行状态时，周期性地检测所述冷却装置的温度以及所述电源组件的功率；根据所述冷却装置的温度检测值与预设目标温度之间的第一温度差值以及所述电源组件的当前功率与上一检测周期所述电源组件的功率之间的功率差值，确定所述调节阀开启程度的第一调节量，并根据所述第一调节量对所述调节阀的开启程度进行调节；其中，所述第一调节量随所述第一温度差值以及所述功率差值的增大而增大，随所述第一温度差值以及所述功率差值的减小而减小；以及，在所述电源组件为非运行状态时，周期性地检测所述冷却装置的出水温度、入水温度以及所述冷却装置所在环境的环境湿度；在所述出水温度高于出水温度阈值时，降低所述冷却装置的可调目标温度，在所述出水温度低于或等于所述出水温度阈值时，根据所述环境湿度确定结露温度，并在所述入水温度低于或等于所述结露温度时提高所述冷却装置的可调目标温度；再根据所述冷却装置的温度检测值与可调目标温度之间的第二温度差值，对所述调节阀的开启程度进行调节，以使所述冷却装置的温度检测值趋近于所述可调目标温度；所述调节阀开启程度的第一调节量为：Ki*Ek+Kp*Ek-Ek-1+Kd*Pk-Pk-1，其中，Kp为第一预设比例调节系数，Ki为第一预设积分调节系数，Kd为第一预设微分调节系数，Ek为当前第一温度差值，Ek-1为上一检测周期对应的第一温度差值，Pk为当前功率差值，Pk-1为上一检测周期对应的功率差值；所述控制装置还用于根据所述调节阀开启程度的第一调节量对所述调节阀的开启程度进行调节，具体包括：将所述调节阀当前的控制量与所述第一调节量相加，得到目标控制量；将所述调节阀的开启程度调节至所述目标控制量。

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