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申请/专利权人：中国工程物理研究院激光聚变研究中心
摘要：本发明公开了一种少量离散缺陷图像的精确拼接方法，包括构建缺陷检测装置；选取一光学元件的样品，找出一能激发荧光的点作为标记点；将样品安装在样品台上，表面分为数个成像区域，采用缺陷检测装置对样品扫描成像得到每个成像区域的子孔径散射图像与子孔径荧光图像；再图像拼接。本发明采用了散射成像与荧光成像双通道技术实现散射信号与荧光信号的同步、原位成像，充分利用散射图像特征点较多的特点，进行大视场全孔径图像拼接，解决了定位不准的问题，还提高了检测效率，尤其是对大尺寸光学元件的亚表面缺陷检测，可以使图像采集与图像处理同步进行，进一步节约时间成本，实现熔石英元件表面、亚表面缺陷的快速、高精度筛选表征。
主权项：1.一种少量离散缺陷图像的精确拼接方法，其特征在于：包括以下步骤；（1）构建一缺陷检测装置，所述缺陷检测装置包括样品台、激光器和图像采集单元；所述样品台水平设置，用于放置样品并带动其三维移动，所述样品为熔石英；所述激光器发出激光，经光路后从斜上方入射至样品表面及亚表面；所述图像采集单元位于样品台正上方，用于在样品表面进行散射成像和荧光成像，得到散射图像和荧光图像；（2）选取一光学元件的样品，找出一能激发荧光的点作为标记点，标记点所在的面为样品的正面；（3）将样品安装在样品台上，调节激光器和图像采集单元，在标记点处激发出荧光，并使标记点处的散射图像和荧光图像均清晰；（4）将样品表面分为数个成像区域，且相邻成像区域部分重叠，移动样品，按S形路径对每个成像区域进行激发和成像，依次得到每个成像区域的散射图像和荧光图像，并将每个成像区域的散射图像和荧光图像，作为该区域的的子孔径散射图像和子孔径荧光图像；（5）子孔径散射图像拼接；每张子孔径散射图像，先采用特征点匹配方法进行拼接，若该子孔径散射图像特征点不匹配，则采用重合区域图像拼接方法进行拼接，最终得到全孔径散射图像，并保存其拼接规则；（6）按（5）得到的拼接规则，对子孔径荧光图像进行拼接，得到全孔径荧光图像。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 一种少量离散缺陷图像的精确拼接方法
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