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申请/专利权人：吉林工业职业技术学院
摘要：本发明公开了一种自加热纳米压印工艺，包括如下压印步骤：先选择所需的图形化基板；在选好的图形化基板上成型带有导电薄膜的压印胶；待带有导电薄膜的压印胶固化后，将其整体从图形化基板上进行剥离，得到图形化电极结构；在衬底上旋涂光刻胶，然后将图形化电极结构带有图形的一侧覆盖到光刻胶上，并施加压力，进行压印形成胶柱，然后打开电源为导电薄膜通电，同时照射紫外光，对胶柱进行固化。本发明中图形化电极结构内部有导电薄膜，可以进行自加热纳米压印，此种加热方式的热损耗小、散热快，并且可以控制加热的温度和速度。
主权项：1.一种自加热纳米压印工艺，其特征在于，包括如下压印步骤：S1，选择所需的图形化基板1；S2，在选好的图形化基板1上成型带有导电薄膜的压印胶；先在图形化基板1上镀上第一层液态压印胶7；待第一层液态压印胶7固化后在其上表面覆盖一层复合自支撑透明导电薄膜9，然后在复合自支撑透明导电薄膜9的上表面镀上第二层液态压印胶8，得到带有导电薄膜的压印胶；S3，待步骤S2中带有导电薄膜的压印胶固化后，将其整体从图形化基板1上进行剥离，得到图形化电极结构；S4，在衬底2上旋涂光刻胶3，然后将图形化电极结构带有图形的一侧覆盖到光刻胶3上，并施加压力，进行压印形成胶柱4，然后打开电源为导电薄膜5通电，同时照射紫外光，对胶柱4进行固化。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 吉林工业职业技术学院 一种自加热纳米压印工艺
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