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申请/专利权人：中国工程物理研究院机械制造工艺研究所
摘要：本发明公开了一种刚度可调的气浮导轨，包括导轨条及滑块，所述滑块与导轨条之间具有气膜间隙，所述气膜间隙包括用于将滑块支撑在导轨条上侧的第一气膜，还包括电磁铁，所述电磁铁固定在导轨条和或滑块上，且在电磁铁通电后，电磁铁产生使得导轨条与滑块在竖直方向相互靠拢的磁力。本气浮导轨的结构设计可使得其能够被运用于精密测量仪器或者超精密机床在轻负载时，拥有良好的支承刚度和运动精度和抗干扰的能力，有利于提高气浮导轨的运动精度和动力学性能。
主权项：1.一种刚度可调的气浮导轨，包括导轨条（1）及滑块（3），所述滑块（3）与导轨条（1）之间具有气膜间隙，所述气膜间隙包括用于将滑块（3）支撑在导轨条（1）上侧的第一气膜（8），其特征在于，还包括电磁铁（2），所述电磁铁（2）固定在导轨条（1）和或滑块（3）上，且在电磁铁（2）通电后，电磁铁（2）产生使得导轨条（1）与滑块（3）在竖直方向相互靠拢的磁力；在导轨条（1）的宽度方向上，导轨条（1）的左侧和右侧均设置有多个电磁铁（2）；导轨条（1）左侧的电磁铁（2）沿着导轨条（1）的长度方向依次排布；导轨条（1）右侧的电磁铁（2）沿着导轨条（1）的长度方向依次排布；各电磁铁（2）均可独立工作；还包括位移传感器（6），所述位移传感器（6）用于检测所述第一气膜（8）的气膜厚度。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所 一种刚度可调的气浮导轨
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