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申请/专利权人：环球晶圆股份有限公司
摘要：本发明公开一种圆磨设备及其晶向调整治具。所述晶向调整治具包含一固定座、一调整本体、一第一调整件、及一万向顶心模块。所述调整本体是以其后端面安装于所述固定座。所述调整本体自其前端面凹设有一万向槽，并沿一调整方向凹设有一第一调整槽，而所述第一调整槽的槽底对应于所述固定座。所述第一调整件沿所述调整方向可移动地安装于所述第一调整槽并抵顶于所述固定座。所述万向顶心模块可转动地安装于所述万向槽。所述第一调整件能沿所述调整方向被调整，以驱使所述调整本体沿所述调整方向相对于所述固定座移动。据此，所述晶向调整治具可有效地降低待加工物的移动幅度或调整幅度，进而实现所述待加工物的晶向微调，以符合不同的要求。
主权项：1.一种圆磨设备，其特征在于，所述圆磨设备包括：一圆磨机，包含有沿一配置轴线设置的两个转轴；以及两个晶向调整治具，其分别安装于两个所述转轴、并用以分别夹持于一待加工物的两端；其中，每个所述晶向调整治具包含有：一固定座，安装于相对应的所述转轴；一调整本体，包含有位于相反两侧的一后端面与一前端面，并且所述调整本体是以所述后端面安装于所述固定座；其中，所述调整本体自所述前端面凹设有一万向槽，并且所述调整本体沿一调整方向凹设有一第一调整槽，而所述第一调整槽的槽底对应于所述固定座；一第一调整件，沿所述调整方向可移动地安装于所述第一调整槽并抵顶于所述固定座；及一万向顶心模块，可转动地安装于所述万向槽，用以抵顶于所述待加工物；其中，两个所述晶向调整治具的所述第一调整件及所述配置轴线都位于一调整平面之上，并且两个所述第一调整件呈斜对向设置；其中，两个所述第一调整件能沿所述调整方向被等量地调整，以驱使两个所述调整本体沿所述调整方向相对于两个所述固定座分别朝相反侧移动，进而于所述调整平面转动所述待加工物。
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百度查询： 环球晶圆股份有限公司 圆磨设备及其晶向调整治具
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