龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：ASML荷兰有限公司
摘要：一种带电粒子设备将带电粒子束沿着束路径朝向样品位置投射。该设备包括：用于操纵束的带电粒子透镜组件、和控制器。透镜组件包括板，每个板具有用于使束路径通过的孔径阵列。板位于沿着束路径的不同板位置处。控制器控制带电粒子设备，使得束的带电粒子在沿着束路径的不同板位置处具有不同能量值。透镜组件包括校正器，该校正器包括被配置为彼此独立地在相应的孔径处执行像差校正的单独的校正器。校正器与位于如下这样的板位置处的板相关联，在这样的板位置处，能量值最小、邻近板的电场的强度最大、和或能量值与邻近板的电场的强度之比最小。
主权项：1.一种带电粒子光学设备，用于沿着相应的束路径朝向样品位置投射多个带电粒子束，所述设备包括：带电粒子光学透镜组件，被配置为操纵所述束，所述透镜组件包括多个板，每个板具有用于使束路径通过的孔径的阵列，所述板位于沿着所述束路径的不同的板位置处；以及控制器，被配置为控制所述带电粒子光学设备，使得在使用中，所述束的带电粒子能够在沿着所述束路径的所述不同的板位置处具有不同的能量值；其中所述透镜组件包括校正器，所述校正器包括被配置为在相应的孔径处彼此独立地执行像差校正的多个单独的校正器，其中所述校正器与沿着所述束路径的、位于如下的这样的板位置处的所述板相关联，在这样的所述板位置处，所述能量值最小、和或邻近所述板的电场的强度最大、和或所述能量值与邻近所述板的电场的强度之比最小。
全文数据：
权利要求：
百度查询： ASML荷兰有限公司 带电粒子装置和方法
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号