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申请/专利权人：哈尔滨工业大学
摘要：本发明涉及基于多偏置误差的转位角误差传递模型及其分析方法，属于超精密几何量测量技术领域。包括主轴、分离台、被测件和测头，主轴的主轴回转中心为O，分离台的误差分离台中心为O′，转位前被测件中心分别位于O1处，其相对于O′的偏心误差大小为e，对应偏心角为转位后被测件中心分别位于O2处，其相对于O′的偏心角变为O′与O间存在偏差e′，其对应偏心角为γ，测头沿垂直于测量方向相对于主轴回转中心的偏移量为d，测头测量方向与经过O的垂线相交于点O″。对各偏置对转位角误差的影响进行分析，根据分析结构相应调整各偏置范围，以减小转位角偏差从而减小转位角偏差对转位法误差分离精度的影响。
主权项：1.基于多偏置误差的转位角误差传递模型，其特征在于：包括主轴1、分离台2、被测件3和测头4，主轴1的主轴回转中心为O，分离台2的误差分离台中心为O′，转位前被测件3中心分别位于O1处，其相对于误差分离台中心O′的偏心误差大小为e，对应偏心角为转位后被测件3中心分别位于O2处，其相对于误差分离台中心O′的偏心角变为误差分离台中心O′与主轴回转中心O间存在偏差e′，其对应偏心角为γ，测头4沿垂直于测量方向相对于主轴回转中心的偏移量为d，测头4测量方向与经过主轴回转中心为O的垂线相交于点O″。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 哈尔滨工业大学 基于多偏置误差的转位角误差传递模型及其分析方法
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