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申请/专利权人：细美事有限公司
摘要：本发明提供能够精确地供应气体的气体供应装置、气体供应控制方法以及基板处理装置。根据本发明的向对基板执行处理的腔室供应气体的气体供应装置包括：气体供应线，从气体供应源连接于所述腔室并提供所述气体的流动路径；循环线，在所述气体供应线的分支点分支并连接于所述分支点的上游侧；喷射器，具有利用从气体供应源流入的所述气体的压力来吸入从所述循环线提供的气体的内部空间，并将所述内部空间的气体向所述气体供应线喷射；流量控制模组，通过在所述气体供应线中控制所述气体的压力来调节供应到所述腔室的所述气体的流量。可以基于所述气体供应线的内部压力和所述流量控制模组的控制压力控制所述气体供应线和所述循环线之间的开放与否。
主权项：1.一种气体供应装置，向对基板执行处理的腔室供应气体，其中，所述气体供应装置包括：气体供应线，从气体供应源连接于所述腔室，并提供所述气体的流动路径；循环线，在所述气体供应线的分支点分支，并连接于所述分支点的上游侧；喷射器，具有利用从所述气体供应源流入的所述气体的压力来吸入从所述循环线提供的气体的内部空间，并将所述内部空间的气体向所述气体供应线喷射；以及流量控制模组，通过在所述气体供应线中控制所述气体的压力来调节向所述腔室供应的所述气体的流量，基于所述气体供应线的内部压力和所述流量控制模组的控制压力来控制所述气体供应线和所述循环线之间的开放与否。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 细美事有限公司 气体供应装置、气体供应控制方法以及基板处理装置
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