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申请/专利权人：无锡互创芯微半导体科技有限公司
摘要：本实用新型公开了一种用于静电吸盘的泄漏测试设备，属于静电吸盘技术领域，包括测试机台，所述测试机台内部具有空腔且空腔内滑动安装有滑动板，所述滑动板的侧面固定安装有警示板，所述测试机台的侧面开设有与空腔相连通且供警示板滑动的通道；通过设置滑动板、楔形板、警示板、测试板以及安装盘使用，静电吸盘安装在安装盘表面，并在双头螺杆的作用下实现上下运动，若是静电吸盘可以吸附并带动测试板向上运动，则在弹簧作用下警示板会露出测试机台，表明静电吸盘没有故障，若是测试板没有向上运动，警示板不会露出，表明静电吸盘出现泄漏故障，测试结构简单，操作方便，可以明显判断出是否出现故障，提升作业效率。
主权项：1.一种用于静电吸盘的泄漏测试设备，其特征在于：包括测试机台1，所述测试机台1内部具有空腔且空腔内滑动安装有滑动板2，所述滑动板2的侧面固定安装有警示板3，所述测试机台1的侧面开设有与空腔相连通且供警示板3滑动的通道，所述滑动板2的上表面开设有楔形槽且楔形槽内配合设置有楔形板4，所述楔形板4的上表面固定安装有若干个抵触杆5，所述测试机台1的上表面固定安装有防护罩6，所述防护罩6内活动设置有测试板7，所述测试板7贴合布设在测试机台1的上表面，所述抵触杆5滑动贯穿测试机台1并与测试板7的下表面相贴合，所述防护罩6的侧面铰接安装有两个防护门8，所述防护罩6内壁相对面转动安装有两个相对布设的转轴9，所述防护罩6侧面固定安装有电机10，所述电机10的输出轴与对应位置处的转轴9固定连接，两个所述转轴9之间固定安装有双头螺杆11，所述双头螺杆11的两段螺纹外表面均螺纹安装有移动板12，所述移动板12的两端均铰接安装有铰接臂13，所述铰接臂13的另一端铰接安装有铰接座14，所述铰接座14的下表面固定安装有安装盘15，所述安装盘15上螺纹安装有若干个安装螺栓16。
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权利要求：
百度查询： 无锡互创芯微半导体科技有限公司 一种用于静电吸盘的泄漏测试设备
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