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申请/专利权人：上海隐冠半导体技术有限公司
摘要：本实用新型涉及运动台技术领域，公开一种吸附装置及运动台。其中吸附装置包括吸盘组件、安装座和锁紧组件。吸盘组件用于支撑基底；安装座呈环形，安装座设置有安装槽，吸盘组件能够嵌设于安装槽内；锁紧组件包括锁紧螺钉和压紧块，安装槽的侧壁设置有沿径向延伸的螺纹孔，吸盘组件的侧壁设置有沿径向延伸的定位孔，压紧块安装于定位孔内，压紧块靠近锁紧螺钉一端设置有锥形槽，锁紧螺钉的端部为锥形，锁紧螺钉螺纹连接于螺纹孔且端部抵紧于锥形槽内。本实用新型提高了吸盘组件与安装座的连接稳固性，防止吸盘组件相对安装座产生位移，保证基底位于预设位置的稳固性。再者，当压紧块在长时间使用磨损损坏时，可直接替换压紧块，降低维护成本。
主权项：1.一种吸附装置，其特征在于，包括：吸盘组件1，所述吸盘组件1用于支撑基底；安装座2，所述安装座2呈环形，所述安装座2设置有安装槽21，所述吸盘组件1能够嵌设于所述安装槽21内；锁紧组件3，其包括锁紧螺钉31和压紧块32，所述安装槽21的侧壁设置有沿径向延伸的螺纹孔，所述吸盘组件1的侧壁设置有沿径向延伸的定位孔，所述压紧块32安装于所述定位孔内，所述压紧块32靠近所述锁紧螺钉31一端设置有锥形槽321，所述锁紧螺钉31的端部为锥形，所述锁紧螺钉31螺纹连接于所述螺纹孔且端部抵紧于所述锥形槽321内。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海隐冠半导体技术有限公司 一种吸附装置及运动台
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