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申请/专利权人：株式会社基恩士
摘要：本发明涉及光学位移计。目的是在抑制U方向上的测量精度的下降的同时加速V方向上的读取。提供用于基于三角测量原理来测量沿Y方向输送的测量对象的X‑Z截面的轮廓的光切法的光学位移计。光源利用在X方向上具有宽度的狭缝光照射测量对象。图像传感器接收来自测量对象的反射光，具有沿与X方向相对应的U方向和与Z方向相对应的V方向二维排列的多个像素，并输出多个像素对反射光的光接收量。检测单元针对沿U方向排列的多个像素列各自将作为光接收量的峰的V方向上的像素的位置检测为峰位置。生成单元根据U方向上的多个像素列的各位置和V方向上的峰位置生成X‑Z截面的轮廓。图像传感器的V方向上的分辨率低于图像传感器的U方向上的分辨率。
主权项：1.一种光切法的光学位移计，用于基于三角测量的原理来测量沿Y方向输送的测量对象的X-Z截面的轮廓，所述光学位移计包括：光源，用于利用在X方向上具有宽度的狭缝光来照射所述测量对象；图像传感器，用于接收来自所述测量对象的反射光，所述图像传感器具有沿与所述X方向相对应的U方向和与Z方向相对应的V方向二维排列的多个像素并且输出所述多个像素对所述反射光的光接收量；检测单元，用于针对沿所述U方向排列的多个像素列中的各像素列，将作为所述光接收量的峰的所述V方向上的像素的位置检测为峰位置；以及生成单元，用于根据所述U方向上的所述多个像素列的各位置和所述V方向上的所述峰位置来生成所述X-Z截面的轮廓，并根据所述Y方向上的多个位置处的多个所述X-Z截面的轮廓来生成表示所述测量对象的三维形状的数据，其中，所述图像传感器在执行合并以使所述V方向上的分辨率低于所述U方向上的分辨率之后，输出光接收量，所述检测单元根据基于执行所述合并之后输出的光接收量而得到的多个采样值，来检测所述V方向上的所述峰位置。
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