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申请/专利权人：乔治洛德方法研究和开发液化空气有限公司
摘要：公开了一类含稀土的化学品。这些含稀土的化学品适合用于顺序气相沉积工艺以形成稀土氟化物或稀土氟氧化物膜。此种膜可以用于保护材料和器件免受腐蚀性化学品的腐蚀。
主权项：1.一种下式的化学品：MFAB3·DY其中M是钇，其中FAB是六氟乙酰丙酮，并且其中y＝1，并且D是乙二醇乙基甲基醚。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 乔治洛德方法研究和开发液化空气有限公司 具有用于改善对腐蚀性化学环境的耐受性的稀土（氧）氟化物涂层的器件以及用于制造和使用这些器件的方法
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