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申请/专利权人：玉环晶科能源有限公司
摘要：本申请涉及光伏技术领域，特别涉及一种太阳能电池及其制备方法。太阳能电池的制备方法包括以下步骤：于硅基底上形成钝化薄膜；利用化学气相沉积腔室分解含有氢和掺杂元素的气体，使分解所得活性粒子作用于所述钝化薄膜和硅基底，于所述钝化薄膜中掺入氢和掺杂元素，形成钝化掺杂薄膜，并于所述硅基底靠近所述钝化薄膜的一侧掺入掺杂元素，形成厚度为1nm~50nm的硅掺杂层，所述硅掺杂层的厚度小于所述硅基底的厚度。上述方法能够在薄膜和晶体硅之间形成内部电场，这个电场能够有效地减少载流子（电子和空穴）在界面附近的复合，与钝化掺杂非晶硅薄膜的氢钝化效果相配合，能够提高电池的光电转换效率和降低能量损失，提高器件的性能。
主权项：1.一种太阳能电池的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：于硅基底上形成钝化薄膜；利用化学气相沉积腔室分解含有氢和掺杂元素的气体，使分解所得活性粒子作用于所述钝化薄膜和硅基底，于所述钝化薄膜中掺入氢和掺杂元素，形成钝化掺杂薄膜，并于所述硅基底靠近所述钝化薄膜的一侧掺入掺杂元素，形成厚度为1nm~50nm的硅掺杂层，所述硅掺杂层的厚度小于所述硅基底的厚度。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 玉环晶科能源有限公司 太阳能电池及其制备方法
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