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申请/专利权人：悦芯科技股份有限公司
摘要：本发明涉及半导体测试技术领域，具体公开了一种基于窄电流脉冲采集的半导体设备测试方法及系统，包括：产生模块：输入连接到测试设备的数字板卡通道，并将电压脉冲转换成电流脉冲提供给待测的芯片；采集模块：接收由芯片输入的电流脉冲并转换为电压脉冲，并通过电压放大模块进行电压放大处理；积分跟随模块：将放大后的电压脉冲信号输入至跟随模块，经跟随电路后在输出端重新捕获到电压脉冲信号，并由预设的校准系数计算出待测芯片电流值；将放大后的电压脉冲信号输入至积分模块，经积分电路测量脉冲能量，由校准系数计算电流脉冲能量；欠采样模块：用于监控某一时间点对应的脉冲幅值。
主权项：1.一种基于窄电流脉冲采集的半导体设备测试系统，其特征在于，包括：产生模块：输入连接到测试设备的数字板卡通道，并将电压脉冲转换成电流脉冲提供给待测的芯片；采集模块：接收由芯片输入的电流脉冲并转换为电压脉冲，并通过电压放大模块进行电压放大处理；积分跟随模块：将放大后的电压脉冲信号输入至跟随模块，经跟随电路后在输出端重新捕获到电压脉冲信号，并根据电路增益和偏差计算出待测芯片电流值；将放大后的电压脉冲信号输入至积分模块，经积分电路测量脉冲能量，并根据电路增益和偏差计算电流脉冲能量；欠采样模块：用于监控某一时间点对应的脉冲幅值。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 悦芯科技股份有限公司 一种基于窄电流脉冲采集的半导体设备测试方法及系统
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