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申请/专利权人：电子科技大学
摘要：本发明公开了一种加载微腔谐振器的共振隧穿二极管太赫兹自相干检波器，属于太赫兹无线收发技术领域，包括衬底及其上方的太赫兹接收天线、微腔谐振器、双势垒共振隧穿二极管、绝缘层和稳定电阻；太赫兹接收天线包括第一电极和第二电极；稳定电阻位于第一电极的镂空凹槽内部，与第一电极邻接；除了稳定电阻外，镂空凹槽内的其他区域填充绝缘层；微腔谐振器位于第一电极上方，与第一电极构成谐振微腔，其内壁柱底端通过双势垒共振隧穿二极管连接第一电极，外壁柱底端通过绝缘层连接第一电极，一个连接结构连接稳定电阻和谐振微腔，另一个连接结构连接第二电极和谐振微腔。本发明基于双势垒共振隧穿二极管实现对太赫兹信号的自相干检波，并利用微腔谐振器增强自相干信号，进一步提升检波灵敏度。
主权项：1.一种加载微腔谐振器的共振隧穿二极管太赫兹自相干检波器，其特征在于，包括衬底，以及位于衬底上方的太赫兹接收天线、微腔谐振器、双势垒共振隧穿二极管、绝缘层和稳定电阻；所述太赫兹接收天线包括第一电极和第二电极，第一电极与第二电极互不接触，均与衬底上表面相接；在第一电极内部设有镂空凹槽；稳定电阻位于镂空凹槽内部，且与第一电极邻接；除稳定电阻外，镂空凹槽内的其他区域填充绝缘层；所述微腔谐振器位于第一电极上方，包括内壁柱、外壁柱、顶盖以及两个连接结构；其中，外壁柱、顶盖与第一电极构成谐振微腔；内壁柱位于谐振微腔内部，底端通过双势垒共振隧穿二极管连接第一电极；外壁柱底端通过绝缘层连接第一电极；一个连接结构连接稳定电阻和谐振微腔，另一个连接结构连接第二电极和谐振微腔；所述镂空凹槽内的绝缘层与外壁柱底端的绝缘层一侧相连。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 电子科技大学 一种加载微腔谐振器的共振隧穿二极管太赫兹自相干检波器
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