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申请/专利权人：吉林大学
摘要：本发明公开了一种扫描电镜内微型气体氛围控温装置，涉及材料测试技术领域，包括温控室、力学加载组件、环境监测组件、密封组件和管路组件；温控室顶部设有观测窗口；力学加载组件包括相对设置的两个试样夹具；环境监测组件包括温度压力传感器和用于控制线束转接到外部的真空法兰；密封组件包括窗口启闭机构和驱动连接段密封机构，窗口启闭机构包括密封滑盖和滑盖驱动机构，滑盖驱动机构用于驱动密封滑盖滑动以打开或关闭观测窗口；驱动连接段密封机构用于密封连接驱动连接段和温控室；管路组件包括高低温进气管、抽真空管道和法兰盘。本发明能够在不破坏扫描电镜真空环境的前提下，以气体氛围方式调控温度，实现材料试样的均匀加热或制冷。
主权项：1.一种扫描电镜内微型气体氛围控温装置，其特征在于：包括温控室、力学加载组件、环境监测组件、密封组件和管路组件；所述温控室的顶部设有观测窗口；所述力学加载组件包括相对设置的两个试样夹具，两个所述试样夹具相互靠近的一端为试样固定段，所述试样固定段位于所述温控室内；两个所述试样夹具相互远离的一端为驱动连接段，所述驱动连接段向外穿出所述温控室，用于与力学测试仪器的动力驱动模块连接；所述环境监测组件包括温度压力传感器和将数据传输的控制线束转接到外部系统的真空法兰，所述温度压力传感器安装于所述温控室内，所述真空法兰固定于所述温控室的外侧壁上；所述密封组件包括窗口启闭机构和驱动连接段密封机构，所述窗口启闭机构设置于所述温控室内，所述窗口启闭机构包括密封滑盖和滑盖驱动机构，所述密封滑盖滑动设置于所述温控室内壁，所述滑盖驱动机构用于驱动所述密封滑盖滑动以打开或关闭所述观测窗口；所述驱动连接段密封机构用于密封连接所述驱动连接段和所述温控室；所述管路组件包括高低温进气管、抽真空管道和法兰盘，所述高低温进气管和所述抽真空管道的一端固定在所述温控室的侧壁上并连通所述温控室内腔，另一端固定于所述法兰盘上，所述法兰盘用于与扫描电镜腔体内连接通向外部气泵的管道法兰盘密封连接。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 吉林大学 一种扫描电镜内微型气体氛围控温装置
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