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申请/专利权人：株式会社泰克米纳
摘要：隔膜泵，具有：对对象液体进行送液的泵部；以及使泵部驱动的驱动部，泵部具有：送液室；工作室；位于送液室与工作室之间的中间室；对送液室与中间室之间进行密封的接液隔膜；对中间室与工作室之间进行密封的工作隔膜；以及使接液隔膜与工作隔膜进行往复运动以使各室的容积发生变化的工作机构，工作机构具有：连接于工作隔膜从而通过驱动部的驱动而进行往复运动的工作部；连结接液隔膜与工作隔膜的连结部；以及将工作隔膜向吸引侧施力的施力部。
主权项：1.一种隔膜泵，其特征在于，具有通过吸引并排出对象液体而进行送液的泵部；和使该泵部进行送液驱动的驱动部，所述泵部具有：送液室，其具备对所述对象液体进行吸引的吸引部和将所吸引的对象液体进行排出的排出部；工作室，填充有工作液；中间室，其位于所述送液室与所述工作室之间、且填充有中间液；接液隔膜，其对所述送液室与所述中间室之间进行密封；工作隔膜，其对所述中间室与所述工作室之间进行密封；以及工作机构，在吸引所述对象液体时使所述接液隔膜与所述工作隔膜向一方向变形，并在排出所述对象液体时使所述接液隔膜与所述工作隔膜向与所述一方向相反侧的另一方向变形，以使所述送液室、所述工作室、所述中间室的容积发生变化，该工作机构具有：连接于所述工作隔膜从而通过所述驱动部的驱动而在所述一方向与所述另一方向进行往复运动的工作部；对所述接液隔膜与所述工作隔膜进行连结的连结部；以及将所述接液隔膜及所述工作隔膜中的至少一者向所述一方向侧施力的施力部。
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