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申请/专利权人:国科天骥(山东)新材料有限责任公司
摘要:本发明提供一种用于形成底部旋涂碳涂层的组合物及底部旋涂碳涂层,所述用于形成底部旋涂碳涂层的组合物包括聚合物,所述聚合物为式A所示的化合物与芳香醛或芳香酮经聚合反应后形成的聚合物:式A中,R1相同或不同,彼此独立地选自羟基、烷氧基、烷基、烯基、‑CHO‑烷基‑O‑烷基、‑C=O‑烷基或缩水甘油基;R2相同或不同,彼此独立地选自氢原子、烷基、烯基或芳基;k相同或不同,彼此独立地为0或1,并且位于式A所示化合物外围的四个连有‑R1k和‑OR2的苯基上至少含有一个羟基。所述底部旋涂碳涂层具有高的热稳定性,对碳氟化合物刻蚀气体具有好的抗蚀刻性并且具有优异的填充性能。
主权项:1.一种聚合物,其为式A所示的化合物与芳香醛或芳香酮经聚合反应后形成的聚合物: 式A中,R1相同或不同,彼此独立地选自羟基、烷氧基、烷基、烯基、-CHO-烷基-O-烷基、-C=O-烷基或缩水甘油基;R2相同或不同,彼此独立地选自氢原子、烷基、烯基或芳基;k相同或不同,彼此独立地为0或1,并且位于式A所示化合物外围的四个连有-R1k和-OR2的苯基上至少含有一个羟基。
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百度查询: 国科天骥(山东)新材料有限责任公司 一种用于形成底部旋涂碳涂层的组合物及底部旋涂碳涂层
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