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一种自动调平机构的调试平台 

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申请/专利权人:拓荆创益(沈阳)半导体设备有限公司

摘要:本实用新型提供了一种自动调平机构的调试平台包括:固定底板,其上设有一个开口和多个第一安装结构,其中,所述开口用于容纳测试件,所述多个第一安装结构用于安装多个千分表固定支座;以及所述测试件,包括第一连接结构及多个第二安装结构,其中,所述第一连接结构位于所述测试件的下部,用于连接所述自动调平机构连接加热盘的第二连接结构,所述多个第二安装结构位于所述测试件的上部,对准所述多个第一安装结构,并用于安装多个千分表。

主权项:1.一种自动调平机构的调试平台,其特征在于,包括:固定底板,其上设有一个开口和多个第一安装结构,其中,所述开口用于容纳测试件,所述多个第一安装结构用于安装多个千分表固定支座;以及所述测试件,包括第一连接结构及多个第二安装结构,其中,所述第一连接结构位于所述测试件的下部,用于连接所述自动调平机构连接加热盘的第二连接结构,所述多个第二安装结构位于所述测试件的上部,对准所述多个第一安装结构,并用于安装多个千分表。

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权利要求:

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