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申请/专利权人：苏州盛拓半导体科技有限公司
摘要：本实用新型公开了一种机械制动式的气浮转台，在传统气浮转台的基础上进行了改进。在工作台面和下止推法兰之间增设了制动机构。制动机构在正常工作状态下与旋转模组连接，使得旋转模组能够通过制动机构驱动工作台面旋转；本实用新型通过引入碟形弹簧和滚珠的设计，当工作台面旋转失速时，滚珠能够迅速因离心力作用从凹合弧槽中脱离，进入滑道并挤压碟形弹簧进行弹性蓄力。这种设计使得制动系统能够在极短的时间内做出响应，迅速减缓或停止工作台面的旋转。且其制动机制不依赖任何气动形式的驱动，既减少了多余的资源（动力）输入，又不存在传统技术的缺陷。
主权项：1.一种机械制动式的气浮转台，包括工作台面（2）及转动于其下部的下止推法兰（3），所述下止推法兰（3）的壁中有节流器（4）和用于流入气流的留置孔，能够在所述工作台面（2）和所述下止推法兰（3）上下之间构成气膜，所述下止推法兰（3）内设有用于驱动所述工作台面（2）旋转的旋转模组（5），其特征在于：所述下止推法兰（3）和所述工作台面（2）上下之间设有制动机构（6），所述旋转模组（5）通过驱动所述制动机构（6）旋转而间接的驱动所述工作台面（2）旋转，所述气膜位于所述制动机构（6）在所述下止推法兰（3）的内部空间中；当所述工作台面（2）旋转失速时，所述制动机构（6）由一个整刚体结构变为两个分刚体结构，与所述工作台面（2）连接的所述分刚体结构断开与所述旋转模组（5）的连接驱动关系，使所述工作台面（2）受到制动而停止。
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百度查询： 苏州盛拓半导体科技有限公司 一种机械制动式的气浮转台
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