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申请/专利权人：无锡澄骅科技有限公司;谢承靖

摘要：本实用新型公开了静电卡盘，包括呈上下分布的上绝缘层、下绝缘层以及设置在上绝缘层、下绝缘层之间的电极层。本实用新型电极层通电时电磁环也处于通电状态，从而吸附磁吸块使得导电杆不与导电孔接触，避免用于固持晶圆的静电力在离子化制程中被经导电层、导电杆、接地片被引入接地线中而造成固持力不足，当离子化制程结束后，断开电极层及电磁环的供电，导电柱通过弹簧的弹力向上移动并与导电孔内侧壁接触，使得导电层与接地片之间通过导电柱形成电连接，晶圆底部与上绝缘层之间累积的多余电荷得以通过导电层、导电柱、接地片以及接地线进行排放，即满足了多余电荷的顺利排放，又保持了制成中固持力的稳定，大大提升了实用性。

主权项：1.静电卡盘，其特征在于：包括呈上下分布的上绝缘层2、下绝缘层1以及设置在上绝缘层2、下绝缘层1之间的电极层4，所述电极层4上表面设置有电极图案6，所述上绝缘层2下壁设置有凹槽16，所述凹槽16内侧上壁与上绝缘层2上壁之间设置有呈上下贯通的安装孔17，所述安装孔17内侧壁固定连接有导电层3，所述导电层3上壁与上绝缘层2上表面齐平，所述导电层3下壁设置有凹陷于该表面的导电孔20，所述导电孔20内侧壁且靠近下端位置设置有第二沉孔21，所述电极层4固定连接在凹槽16内侧上壁，所述电极层4内壁且位于第二沉孔21下方设置有呈上下贯通的通孔22，所述电极层4下壁固定连接有中间绝缘层5，所述中间绝缘层5下壁设置有用于接地的接地片7，所述接地片7内壁滑动连接有导电柱10，所述导电柱10外径与导电孔20内径相适配，所述导电柱10上端依次贯穿中间绝缘层5、通孔22并伸入至第二沉孔21内侧壁，所述导电柱10下端贯穿接地片7内壁并伸入至凹槽16内部，下绝缘层1上壁且位于凹槽16内部设置有绝缘屏蔽壳8，所述绝缘屏蔽壳8内部与导电柱10之间设置有用于吸附导电柱10向下移动的吸附结构，所述导电柱10与绝缘屏蔽壳8上壁之间设置有用于吸附结构不动作时将导电柱10向上弹起并与导电孔20电性连接的弹性结构。

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