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申请/专利权人：丹东锐芯微电子有限公司
摘要：本实用新型适用于光刻胶去除技术领域，提供了一种边缘光刻胶去除装置，包括：旋转组件；所述旋转组件由减速电机和转动盘组成；所述减速电机的输出端和转动盘的顶部中央位置处固定连接；焊接于所述转动盘底部中央位置处的防滑罩；及通过螺栓固定于所述转动盘底部靠近防滑罩外侧位置处的光刻胶射频组件和吸料组件，所述光刻胶射频组件位于吸料组件的一侧；通过射频灰化晶圆边缘上的光刻胶，可以快速的去除光刻胶，效率高，并通过防滑罩对晶圆核心区域的防护和吸料组件将光刻胶灰化过程中产生的废料吸走排出，可以实现晶圆边缘光刻胶去除、防护和清理一体化，大大提高晶圆加工的效率。
主权项：1.一种边缘光刻胶去除装置，其特征在于，包括：旋转组件（2）；所述旋转组件（2）由减速电机（21）和转动盘（22）组成；所述减速电机（21）的输出端和转动盘（22）的顶部中央位置处固定连接；焊接于所述转动盘（22）底部中央位置处的防滑罩（3）；及通过螺栓固定于所述转动盘（22）底部靠近防滑罩（3）外侧位置处的光刻胶射频组件（4）和吸料组件（5），所述光刻胶射频组件（4）位于吸料组件（5）的一侧；其中，所述光刻胶射频组件（4）包括：通过螺栓固定于所述转动盘（22）底部的固定座（41）；通过螺栓固定于所述固定座（41）外侧壁中央位置处的三相异步电机（42）；固定于所述三相异步电机（42）输出端的滚珠丝杠（43）；通过螺母固定于所述滚珠丝杠（43）上螺母座的射频发射头（44）；其中，所述吸料组件（5）包括：通过螺栓固定于所述转动盘（22）顶部的第二液压缸（51）；固定于所述第二液压缸（51）输出端的吸料罩（52）；嵌入于所述吸料罩（52）底部的硅胶垫（53）；通过螺栓固定于所述转动盘（22）顶部靠近第二液压缸（51）一侧位置处的真空泵（54）；连接于所述真空泵（54）和吸料罩（52）之间的伸缩管（55）；开设于所述吸料罩（52）外侧壁的凹槽（56）。
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权利要求：
百度查询： 丹东锐芯微电子有限公司 一种边缘光刻胶去除装置
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