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申请/专利权人：盛吉盛精密制造(绍兴)有限公司;盛吉盛(宁波)半导体科技有限公司

摘要：本发明涉及半导体器件生产设备，公开了一种半导体扩散炉石英支架及其精密定位装置，其中半导体扩散炉石英支架包括支架立轴、套设于支架立轴上的支架爪盘，所述支架立轴用于与支架爪盘相配合的一端开设有锥形面，所述支架爪盘上开设有用于供支架立轴带有锥形面的一端嵌入的锥形槽口；本发明分体式的石英支架能够适应炉管横置的扩散炉，使得石英支架能够放入横置的炉管内对晶片进行支撑；而精密定位装置则能够提高支架立轴的加工精度，使得支架立轴在旋转的过程中能够更平稳地带动支架爪盘上的晶片旋转。

主权项：1.一种半导体石英支架精密定位装置，其特征在于：包括支架立轴1、套设于支架立轴1上的支架爪盘2，所述支架立轴1用于与支架爪盘2相配合的一端开设有锥形面11，所述支架爪盘2上开设有用于供支架立轴1带有锥形面11的一端嵌入的锥形槽口22；所述支架立轴1带有锥形面11的一端一体设置有同步凸块12，所述支架爪盘2上开设有与锥形槽口22相连通且用于供同步凸块12嵌入的同步槽23；所述支架爪盘2包括有至少三根支撑爪21，所述支撑爪21上朝向背离支架立轴1的一侧凸出形成有定位柱24，且所述定位柱24背对支撑爪21一侧的表面相互之间彼此共面；所述支架立轴1呈中空结构，所述支架立轴1的侧壁上开设有与自身内腔相连通的气孔13，且所述支架立轴1远离锥形面11的一端开设有键槽14；包括用于供支架立轴1嵌入的定位套3、穿设于定位套3中心且用于穿入支架立轴1中心的定位棒4，所述定位棒4和定位套3的内壁之间形成有用于供支架立轴1嵌入的套接腔，且所述定位套3的转动轴上设置有用于驱使定位棒4伸缩的驱动机构5；所述驱动机构5包括转动安装于定位套3上的驱动齿轮51、安装于定位套3上且运动方向平行于定位棒4伸缩方向的前进条52和后退条53，所述定位棒4上沿自身长度方向开设有配合槽41，所述配合槽41的其中一个内侧壁形成有啮合齿42，所述驱动齿轮51部分陷入配合槽41内并与啮合齿42形成啮合，所述驱动齿轮51上同轴固定有棘轮511，所述前进条52和后退条53分别位于棘轮511的两侧，所述前进条52和后退条53上均设置有用于驱使棘轮511旋转的棘爪55，且所述前进条52上的棘爪55和后退条53上的棘爪55对棘轮511的驱动方向相反，同时定位套3上设置有用于限制驱动齿轮51旋转的限位组件9；所述前进条52和后退条53朝向棘轮511的一侧均开设有安装槽54，所述棘爪55位于安装槽54内，且在前进条52和后退条53的安装槽54内安装有用于驱使棘爪55的自由端朝向安装槽54外转出的弹片56。

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