龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：南通大学
摘要：本发明的实施例提供一种横向激励体声波谐振器及其制备方法，属于射频MEMS器件领域。所述横向激励体声波谐振器包括：衬底；压电层，所述压电层位于衬底上；空腔结构，所述空腔结构设置成从衬底的上表面向下的释放腔并且所述释放腔的顶部由压电层覆盖；声学散射阵列，所述声学散射阵列设置成贯穿所述压电层的成阵列形式排布的多个孔。在本发明的实施例中，通过在横向激励体声波谐振器中设置声学散射阵列，可以达到抑制杂散模态的目的，从而具有杂散模态少的性能特点，能够实现高频、大带宽且极小带内纹波的滤波器。
主权项：1.一种横向激励体声波谐振器，其特征在于，所述横向激励体声波谐振器包括：衬底；压电层，所述压电层位于衬底上；空腔结构，所述空腔结构设置成从衬底的上表面向下的释放腔并且所述释放腔的顶部由压电层覆盖；声学散射阵列，所述声学散射阵列设置成贯穿所述压电层的成阵列形式排布的多个孔。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 南通大学 横向激励体声波谐振器及其制备方法
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号