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申请/专利权人:华海清科股份有限公司
摘要:本申请提供一种电涡流终点检测装置及包括其的化学机械抛光设备。所述电涡流终点检测装置包括壳体、PCB板以及控制模块。所述PCB板封装在所述壳体中,并包括集成在其中的谐振电路,所述谐振电路包括感应线圈;所述控制模块与所述PCB板电连接,所述控制模块基于所述谐振电路中的电流信号检测朝向所述PCB板设置的晶圆的金属膜的厚度。根据本申请的技术方案,通过将感应线圈集成在PCB板中,提高了感应线圈的制造精度和集成效率,避免了传统绕线线圈制造误差较大及检测偏差较大的问题,提高了终点检测的精确性和一致性。
主权项:1.一种电涡流终点检测装置,用于化学机械抛光设备,其特征在于,所述电涡流终点检测装置包括:壳体;PCB板,其封装在所述壳体中,并包括集成在其中的谐振电路,所述谐振电路包括感应线圈;以及控制模块,其与所述PCB板电连接,所述控制模块基于所述谐振电路中的电流信号检测朝向所述PCB板设置的晶圆的金属膜的厚度。
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权利要求:
百度查询: 华海清科股份有限公司 电涡流终点检测装置及化学机械抛光设备
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