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耐高温光纤的制备方法以及磁控溅射装置 

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申请/专利权人:清华大学

摘要:本发明公开了一种耐高温光纤的制备方法以及磁控溅射装置。该方法包括:1采用磁控溅射对包覆有石英包层的纤芯沉积第一金属,以便在所述石英包层表面形成导电涂层;2采用电化学沉积在所述导电涂层表面形成过渡涂层;3采用电化学沉积在所述过渡涂层表面形成耐热涂层,以便得到预处理耐高温光纤;4将所述预处理耐高温光纤热处理,以便得到耐高温光纤。该方法制备的光纤具有优异的耐高温性能、韧性、传感性能以及较长的使用寿命,且该方法操作简单,生产效率高,易实现,适于工业化生产。

主权项:1.一种耐高温光纤的制备方法,其特征在于,包括:1采用磁控溅射对包覆有石英包层的纤芯沉积第一金属,以便在所述石英包层表面形成导电涂层;2采用电化学沉积在所述导电涂层表面形成过渡涂层;3采用电化学沉积在所述过渡涂层表面形成耐热涂层,以便得到预处理耐高温光纤;4将所述预处理耐高温光纤热处理,以便得到耐高温光纤。

全文数据:

权利要求:

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