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一种具有三明治结构的叉指湿敏电容及其制备方法 

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申请/专利权人:宁波中车时代传感技术有限公司

摘要:一种三明治结构的叉指湿敏电容及制备方法,其中三明治结构的叉指湿敏电容设置有衬底、下湿敏层、上湿敏层和叉指湿敏电极,所述下层湿敏层设置于所述衬底的上表面,所述叉指湿敏电极分别设置有所述衬底的上表面以及所述下湿敏层的上表面,所述上湿敏层分别设置于所述叉指湿敏电极的上表面以及所述下湿敏层的上表面。本发明的叉指湿敏电容的结构简单,通过使用下湿敏层和上湿敏层设置在叉指湿敏电极的上下表面,当环境湿度发生变化的时候,下湿敏层和上湿敏层同时吸收水分使介电常数的增大,从而显著提高电容变化量和灵敏度。而且本发明仅通过3个步骤即可制备得到该叉指湿敏电容,工艺简单且容易实现。

主权项:1.一种三明治结构的叉指湿敏电容,其特征在于:设置有衬底、下湿敏层、上湿敏层和叉指湿敏电极,所述下层湿敏层设置于所述衬底的上表面,所述叉指湿敏电极分别设置有所述衬底的上表面以及所述下湿敏层的上表面,所述上湿敏层分别设置于所述叉指湿敏电极的上表面以及所述下湿敏层的上表面。

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