龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：福建金石能源有限公司
摘要：本发明涉及PECVD镀膜技术领域，公开了一种一站式PECVD沉积方法及其设备，该方法采用若干PECVD沉积腔同步、长节拍一站式完成异质结电池正背面钝化层或掺杂层或大型平板显示基板的多晶硅薄膜的工艺沉积和辅助动作，以堆栈方式一次完成各沉积腔载板的批传送。该设备包括一体化沉积模块和堆栈式输入、输出模块。一体化沉积模块用于实现太阳能电池或大型平板显示基板的多沉积腔同步、长节拍一站式工艺沉积和一次辅助动作，并与堆栈式输入、输出模块组合，实现载板的批传送。本发明满足大规模量产同时避免沉积过程被多站节拍分割成若干空间和时间片断，实现了沉积工艺的完整性和灵活性，有利于提升沉积质量与工艺升级空间，具有高效节能和低成本等特点。
主权项：1.一种一站式PECVD沉积方法，其特征在于：包括以下步骤：S1、上料预热子循环：上料机将待沉积物料装至载板上，再将N1块载板运送至预热腔中预热，预热完成后送至一体化沉积腔中沉积；其中，预热腔中的载板采用堆栈式放置；S2、一站式沉积子循环：一体化沉积腔中设置有N2个沉积腔；预热完成的堆栈式N1块载板一批次地运送至各自沉积腔中沉积，同时将沉积完成的N3块载板一批次地传送至冷却腔中；其中，每个沉积腔对应一块载板，每块载板在各自的沉积腔中同步完成沉积和辅助动作；S3、冷却下料子循环：沉积完后的载板一批次地传送至冷却腔中冷却，冷却完成后，将载板传送至下料机进行下料；其中冷却腔中的载板采用堆栈式放置。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 福建金石能源有限公司 一种一站式PECVD沉积方法及其设备
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号