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申请/专利权人：合肥升滕半导体技术有限公司
摘要：本发明公开了一种半导体挡板退膜清洗装置及其清洗方法，属于半导体器件加工技术领域，清洗装置包括清洗池，清洗池包括去污池和清水池，去污池内固定有支撑件，去污池的一端固定有第一连接板，第一连接板的上方固定有竖直的第一电动伸缩杆，第一电动伸缩杆的输出轴上垂直固定有水平的第二电动伸缩杆，第二电动伸缩杆的输出轴上固定有竖直的第一连接条，第一连接条的下端固定有压板，压板的下方设有橡胶层。本发明清洗装置通过设置具有弹性的支撑件以及能够升降且能左右移动的压板，能够对支撑件内的挡板的上侧进行揉搓，从而控制挡板位于去污池内转动，转动的过程中，刷毛能够对挡板的外壁和端部进行刷洗，刷头能够对挡板的内壁进行刷洗。
主权项：1.一种半导体挡板退膜清洗装置，用于对挡板（10）进行清洗，挡板（10）为环形，清洗装置包括清洗池，其特征在于，所述清洗池包括去污池（1）和清水池（2），去污池（1）内固定有支撑件（3）；所述去污池（1）的一端固定有第一连接板（11），第一连接板（11）的上方固定有竖直的第一电动伸缩杆（12），第一电动伸缩杆（12）的输出轴上垂直固定有水平的第二电动伸缩杆（13），第二电动伸缩杆（13）的输出轴上固定有竖直的第一连接条（14），第一连接条（14）的下端固定有压板（15），压板（15）的下方设有橡胶层；所述支撑件（3）包括若干第一轴套（31），第一轴套（31）固定在去污池（1）的底板上，第一轴套（31）的上端套装有第一滑动轴（32），第一滑动轴（32）的上端固定有矩形盒（33），矩形盒（33）与第一轴套（31）之间固定连接有第一弹簧（34），矩形盒（33）的内壁设有刷毛（35），第二电动伸缩杆（13）与矩形盒（33）的侧壁平行。
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权利要求：
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