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申请/专利权人：强一半导体(苏州)股份有限公司

摘要：本发明公开一种高频探针卡的零位检测装置，检测装置包括：探针卡固定架，用于固定待测的针卡本体；零位校准机构，用于夹持待测探针卡的限位杆并带动其转动，零位校准机构包括一对位调整机构以及固定在对位调整机构上的驱动机构，驱动机构的端部传动连接一旋转轴，旋转轴的前端设置有与限位杆可分离地连接的连接部；电控箱，被配置为向待测探针卡的零位杆与等零位杆之间施加电压，驱动旋转轴转动，测量零位杆与等零位杆之间流过的电流大小，并基于该电流大小进行零位报警。本申请的检测装置能够实现自动查找高频探针卡的零位，以及完成探针卡的疲劳检测。

主权项：1.一种高频探针卡的零位检测装置，所述的探针卡（4）具有：针卡本体（46）、带有内部电路以及若干探针的薄膜、零位杆（42）、等零位杆（47）以及可转动地设置在针卡本体（46）上的限位杆（43），且针卡本体（46）、限位杆（42）以及等零位杆（47）之间实现导电连接，零位杆（42）与针卡本体（46）绝缘安装，其特征在于，所述的检测装置包括：探针卡固定架（1），用于固定待测的针卡本体（46）；针压测量机构（3），包括：能够沿上下方向移动的挤压臂（38）、设置在所述挤压臂（38）上的顶芯（33）以及位于挤压臂（38）与顶芯（33）之间的传感器（32），所述的传感器（32）与PLC控制器通讯连接，所述的顶芯（33）位于待测的针卡本体（46）的正下方并能够藉由所述的挤压臂（38）的上下移动与所述的探针卡（4）上的若干探针接触；零位校准机构（2），用于夹持待测探针卡（4）的限位杆（43）并带动其转动，所述的零位校准机构（2）包括一对位调整机构（27）以及固定在所述的对位调整机构（27）上的驱动机构，所述的驱动机构的端部传动连接一旋转轴（22），所述的旋转轴（22）的前端设置有与所述的限位杆（43）可分离地连接的连接部（220）；电控箱（91），包括所述的PLC控制器，所述的PLC控制器被配置为使所述的顶芯（33）接触待测探针卡（4）的探针，并保持在该位置，以及向待测探针卡（4）的零位杆（42）与等零位杆（47）之间施加电压，驱动所述的旋转轴（22）转动，测量零位杆（42）与等零位杆（47）之间流过的电流大小，并基于该电流大小进行零位报警。

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