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申请/专利权人：卡尔蔡司工业测量技术有限公司
摘要：本发明涉及一种用于坐标测量机的空气轴承装置，其用于两个构件的相对彼此可移动的支承，且具有至少一个活动轴承元件12和固定轴承元件11以及至少一个压缩空气供给装置，通过压缩空气供给装置能够在活动轴承元件与固定轴承元件之间构造压缩空气垫，从而活动轴承元件能与固定轴承元件间隔地移动，其中，活动轴承元件具有至少一个工作面16，并且固定轴承元件具有至少一个配合工作面17，活动轴承元件和固定轴承元件沿着工作面16和配合工作面17相互间相对彼此运动，并且其中，工作面16和或配合工作面17设有由金刚石或类金刚石碳构成的涂层18、19。本发明还涉及一种具有至少一个这种空气轴承装置的坐标测量机和一种用于制造空气轴承装置的方法。
主权项：1.一种用于坐标测量机的空气轴承装置，所述空气轴承装置用于两个构件的相对彼此可移动的支承，所述空气轴承装置具有至少一个活动轴承元件12和固定轴承元件11以及至少一个压缩空气供给装置，通过所述压缩空气供给装置能够在活动轴承元件与固定轴承元件之间构造压缩空气垫，从而活动轴承元件能与固定轴承元件间隔地移动，其中，活动轴承元件具有至少一个工作面16，并且固定轴承元件具有至少一个配合工作面17，活动轴承元件和固定轴承元件沿着所述工作面16和配合工作面17相互间相对彼此运动，其特征在于，所述工作面16和或配合工作面17设有由金刚石或类金刚石碳构成的涂层18、19。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 卡尔蔡司工业测量技术有限公司 用于坐标测量机的空气轴承装置、坐标测量机和制造方法
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