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申请/专利权人：株式会社斯库林集团
摘要：提供一种可以高精度对监视对象的状态进行监视的技术。基板处理装置具备腔室10、基板保持部20、相机70及控制部9。基板保持部20在腔室10内保持基板W。相机70拍摄腔室10内的包含监视对象物的拍摄区域，生成拍摄图像数据。控制部9确定拍摄区域内的环境状态，在环境状态为第1环境状态时，以与第1环境状态对应的第1判定过程，基于拍摄图像数据对监视对象物的状态进行监视，在环境状态为与第1环境状态不同的第2环境状态时，以与第2环境状态对应且与第1判定过程不同的第2判定过程，基于拍摄图像数据对监视对象物的该状态进行监视。
主权项：1.一种基板处理装置，其中，具备：腔室；基板保持部，其在上述腔室内保持基板；相机，其拍摄上述腔室内的包含监视对象物的拍摄区域，生成拍摄图像数据；及控制部，其确定上述拍摄区域内的环境状态，在上述环境状态为第1环境状态时，以与上述第1环境状态对应的第1判定过程，基于上述拍摄图像数据监视上述监视对象物的状态，在上述环境状态为与上述第1环境状态不同的第2环境状态时，以与上述第2环境状态对应且与上述第1判定过程不同的第2判定过程，基于上述拍摄图像数据监视上述监视对象物的上述状态。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 株式会社斯库林集团 基板处理装置及监视方法
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