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申请/专利权人：日东电工株式会社
摘要：带磁性薄膜的基材1a具备基材20和磁性薄膜11。从磁性薄膜11的第二内部应力σx减去磁性薄膜11的第一内部应力σy而得的差为50MPa以上。第一内部应力σy是沿与基片20平行地延伸的磁性薄膜11的面P的第一方向上的磁性薄膜11的内部应力。第二内部应力σx是与面P平行且与第一方向垂直的第二方向上的磁性薄膜11的内部应力。
主权项：1.带磁性薄膜的基材，其具备：基材；和配置在所述基材上的磁性薄膜，从所述磁性薄膜的第二内部应力减去所述磁性薄膜的第一内部应力而得的差为50MPa以上，所述第一内部应力是第一方向上的所述磁性薄膜的内部应力，所述第一方向是沿与所述基材平行地延伸的所述磁性薄膜的面的方向，所述第二内部应力是第二方向上的所述磁性薄膜的内部应力，所述第二方向是与所述面平行且与所述第一方向垂直的方向。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 日东电工株式会社 带磁性薄膜的基材、磁热电转换元件、传感器及制造带磁性薄膜的基材的方法
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