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申请/专利权人：湖南天创精工科技有限公司
摘要：本发明公开了一种用于半球谐振子修调的离子束加工装备及方法，加工设备的真空腔体包括主真空腔体、辅助真空腔体和插板阀，主真空腔体和辅助真空腔体之间相连通且通过插板阀开启和或关闭连通通道，主真空腔体内通过离子束加工装置对半球谐振子进行加工，辅助真空腔体用于半球谐振子进出真空腔体以及便于半球谐振子检测，离子束加工和检测分开在不同腔体内，通过插板阀的开启和关闭，一方面便于半球谐振子的通行，另一方面隔绝主真空腔体离子束加工后高温环境对辅助真空腔体内半球谐振子的影响，提高检测精度，进一步的，不需要将半球谐振子从真空腔体中取出另外置于另一真空腔体内进行检测，节省了抽放气的时间，提高了生产效率。
主权项：1.一种用于半球谐振子修调的离子束加工设备，包括真空腔体、离子束加工装置和检测装置，半球谐振子（24）和离子束加工装置位于真空腔体内，所述检测装置用于检测半球谐振子（24）在振动时的振动信号，其特征在于：所述真空腔体包括主真空腔体（15）、辅助真空腔体（13）和插板阀（14），所述主真空腔体（15）和辅助真空腔体（13）之间相连通且通过插板阀（14）开启和或关闭连通通道；所述半球谐振子（24）可在主真空腔体（15）和辅助真空腔体（13）之间移动，所述离子束加工装置位于主真空腔体（15）内，当半球谐振子（24）位于主真空腔体（15）内时所述离子束加工装置对半球谐振子（24）进行离子束加工，当半球谐振子（24）位于辅助真空腔体（13）内时，所述检测装置用于对半球谐振子（24）进行检测。
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百度查询： 湖南天创精工科技有限公司 一种用于半球谐振子修调的离子束加工装备及方法
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