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申请/专利权人：中电环宇(北京)建设工程有限公司

摘要：本申请涉及半导体设备制程厂房的微震监测装置，属于地震检测装置的技术领域，其包括传感器、传输线、数据处理器和地面开设的监测洞，所述传感器处于监测洞底部，传感器处设置有壳体，且传感器处于壳体内，壳体内设置有用于固定传感器的固定组件，壳体顶端开设有放置口，壳体在放置口处螺纹连接有盖板，传输线一端贯穿盖板伸至壳体内和传感器固定连接，壳体的上方设置有支撑管，支撑管的长度方向和监测洞平行，支撑管和监测洞侧壁固定连接，传输线远离传感器一端穿过支撑管和数据处理器的接收端固定连接，且壳体能够从支撑管内部穿过，本申请具有减少传感器损坏和提高传感器更换便利性的效果。

主权项：1.半导体设备制程厂房的微震监测装置，包括传感器1、传输线11、数据处理器12和地面开设的监测洞2，其特征在于：所述传感器1处于监测洞2底部，传感器1处设置有壳体3，且传感器1处于壳体3内，壳体3内设置有用于固定传感器1的固定组件4，壳体3顶端开设有放置口，壳体3在放置口处螺纹连接有盖板33，传输线11一端贯穿盖板33伸至壳体3内和传感器1固定连接，壳体3的上方设置有支撑管6，支撑管6处于监测洞2内，支撑管6的长度方向和监测洞2平行，支撑管6和监测洞2侧壁固定连接，传输线11远离传感器1一端穿过支撑管6和数据处理器12的接收端固定连接，数据处理器12处于监测洞2外，且壳体3能够从支撑管6内部穿过；所述盖板33背离壳体3一侧设置有拉杆5，拉杆5和盖板33连接固定，拉杆5远离盖板33一端伸至支撑管6内延伸至靠近监测洞2口处；所述盖板33背离壳体3一侧固定连接有两个连接杆34，连接杆34和盖板33垂直，连接杆34远离盖板33一端设置有第一横杆35，第一横杆35的两端分别和两个连接杆34固定连接，第一横杆35和连接杆34垂直，拉杆5靠近盖板33一端固定连接有第二横杆51，第二横杆51和拉杆5垂直，第二横杆51背离拉杆5一侧固定连接有两根支杆52，支杆52和第二横杆51垂直，支杆52远离第二横杆51一端设置有第三横杆53，第三横杆53的两端分别和两个支杆52固定连接，第三横杆53和支杆52垂直，第三横杆53处于两个连接杆34之间，同时处于第一横杆35和盖板33之间；所述支撑管6相对两侧内壁沿支撑管6长度方向均开设有移动槽61，移动槽61贯穿支撑管6远离壳体3一端侧壁，支撑管6在移动槽61内沿移动槽61长度方向滑动连接有移动块62，拉杆5远离第二横杆51一端固定连接有第四横杆54，第四横杆54的两端分别和两侧的移动块62固定连接；所述支撑管6靠近壳体3一侧从内壁到外壁沿朝向壳体3方向倾斜设置。

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