龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：上海微电子装备(集团)股份有限公司
摘要：本发明涉及光刻机技术领域，公开一种管路柔性适应装置及浸没式光刻机，其中管路柔性适应装置包括：包括连接簧片和隔振结构的柔性连接装置，连接簧片的一端通过隔振结构连接于气液分离装置上，连接簧片的另一端自由释放，连接簧片沿气液分离装置的高度方向布置；浸没流场管路，浸没流场管路包括回收管路和注入管路，回收管路的两端分别连通于浸没头和气液分离装置，注入管路的一端连通于浸没头，注入管路远离浸没头的部分连接于连接簧片上且沿连接簧片的高度方向布置，注入管路和回收管路靠近浸没头的部分布置于同一水平面上。通过上述结构，该管路柔性适应装置能够减小管路对浸没头以及气液分离装置的影响，有利于提高浸没式光刻机的精度。
主权项：1.一种管路柔性适应装置，其特征在于，包括：柔性连接装置，所述柔性连接装置包括连接簧片1和隔振结构2，所述连接簧片1的一端通过所述隔振结构2连接于气液分离装置3上，所述连接簧片1的另一端自由释放，所述连接簧片1沿所述气液分离装置3的高度方向布置；浸没流场管路，所述浸没流场管路包括回收管路41和注入管路42，所述回收管路41的两端分别连通于浸没头5和所述气液分离装置3，所述注入管路42的一端连通于浸没头5，所述注入管路42远离所述浸没头5的部分连接于所述连接簧片1上且沿所述连接簧片1的高度方向布置，所述注入管路42和所述回收管路41靠近所述浸没头5的部分布置于同一水平面上。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海微电子装备(集团)股份有限公司 一种管路柔性适应装置及浸没式光刻机
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号