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申请/专利权人:应用材料公司
摘要:提供了含锂阳极、包括前述含锂电极的高性能电化学装置,以及制造所述含锂阳极和电化学装置的方法,所述高性能电化学装置诸如二次电池。在一个实现方式中,提供了一种阳极电极。所述阳极电极包括第一扩散阻挡层,所述第一扩散阻挡层形成在铜箔上。所述第一扩散阻挡层包含钛Ti、钼Mo、钨W、锆Zr、铪Hf、铌Nb、钽Ta或它们的组合。所述阳极电极进一步包括润湿层,所述润湿层形成在所述第一扩散阻挡层上。所述润湿层选自硅Si、锡Sn、铝Al、锗Ge、锑Sb、铅Pb、铋Bi、镓Ga、铟In、锌Zn、镉Cd、镁Mg、上述的氧化物、上述的氮化物或它们的组合。所述阳极电极进一步包括锂金属层,所述锂金属层形成在所述润湿层上。
主权项:1.一种阳极电极结构,包括:铜箔;第一扩散阻挡层,所述第一扩散阻挡层形成在所述铜箔上,其中所述第一扩散阻挡层包含钛Ti、钼Mo、钨W、锆Zr、铪Hf、铌Nb、钽Ta或它们的组合,或者所述第一扩散阻挡层包含氮化钛TiN、氮化钨WN、氮化钽或它们的组合;第二扩散阻挡层,所述第二扩散阻挡层形成在所述第一扩散阻挡层上,其中所述第二扩散阻挡层与所述第一扩散阻挡层不同,其中所述第一扩散阻挡层用作铜扩散阻挡层,并且所述第二扩散阻挡层用作锂扩散阻挡层;润湿层,所述润湿层形成在所述第二扩散阻挡层上,其中所述润湿层选自硅Si、锡Sn、铝Al、锗Ge、锑Sb、铅Pb、铋Bi、镓Ga、铟In、锌Zn、镉Cd、镁Mg、上述材料的氧化物、上述材料的氮化物或它们的组合;和锂金属层,所述锂金属层形成在所述润湿层上。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 应用材料公司 实现锂的稳定性的扩散阻挡膜
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