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申请/专利权人：京东方科技集团股份有限公司
摘要：本公开提供了一种湿度传感器及其制备方法、电子设备，该湿度传感器包括：基底10；设置在所述基底10上的至少一个传感器单元100；所述传感器单元100包括：设置在所述基底10上的第一电极20以及支撑结构30，所述支撑结构30位于所述第一电极20的至少一侧；第二电极40，所述第二电极40位于所述第一电极20远离所述基底10一侧，且所述第二电极40与所述第一电极20在基底10的正投影存在交叠，所述第二电极40与所述第一电极20之间设置有空间60；所述第二电极40的至少一端与所述支撑结构固定；吸附层50，所述吸附层50设置在所述第二电极40远离所述基底10一侧。
主权项：一种湿度传感器，包括：基底；设置在所述基底上的至少一个传感器单元；所述传感器单元包括：设置在所述基底上的第一电极以及支撑结构，所述支撑结构位于所述第一电极的至少一侧；第二电极，所述第二电极位于所述第一电极远离所述基底一侧，且所述第二电极与所述第一电极在基底的正投影存在交叠，所述第二电极与所述第一电极之间设置有空间；所述第二电极的至少一端与所述支撑结构固定；吸附层，所述吸附层设置在所述第二电极远离所述基底一侧。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 京东方科技集团股份有限公司 湿度传感器及其制备方法、电子设备
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