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申请/专利权人：北京华丞电子有限公司
摘要：本发明提供一种流体调节装置和质量流量控制器，该装置包括多个相对位置固定的片状件，多个片状件沿片状件的法线方向叠置，每个片状件形成有镂空部，多个片状件的镂空部沿片状件的法线方向对应设置，构成用于供流体沿片状件的法线方向通过的流体通道。本方案利用单个片状件具有扁平而薄的特点，很容易在单个片状件上加工镂空部，且加工的镂空部包含更多数量的通孔也是很容易实现的，因此不仅制造难度低，而且很容易实现体积小、流量大，且可以提高流体调节装置的分流效果的精度、一致性和重复性，还可以适用于不同尺寸的质量流量控制器。
主权项：1.一种流体调节装置，其特征在于，包括多个相对位置固定的片状件，多个所述片状件沿所述片状件的法线方向叠置，每个所述片状件形成有镂空部，多个所述片状件的所述镂空部沿所述片状件的法线方向对应设置，构成用于供流体沿所述片状件的法线方向通过的流体通道。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 北京华丞电子有限公司 流体调节装置和质量流量控制器
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