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申请/专利权人：无锡联发易创科技有限公司
摘要：本实用新型涉及打点装置技术领域，尤其是一种自动化晶圆打点装置，包括底座、打点器、驱动电机，驱动电机设于底座上，该打点装置还包括转盘、若干组吸盘组件；所述转盘与驱动电机的输出端连接；若干组吸盘组件均设于转盘的上端且若干组吸盘组件绕转盘的轴心分布；打点器安装在吸盘组件的上侧；驱动电机工作时，若干组吸盘组件择一地与打点器位置对应，通过本实用新型可以实现提高晶圆打点效率。
主权项：1.一种自动化晶圆打点装置，包括底座（1）、打点器、驱动电机，驱动电机设于底座（1）上，其特征在于：该打点装置还包括转盘（3）、若干组吸盘组件（4）；所述转盘（3）与驱动电机的输出端连接；若干组吸盘组件（4）均设于转盘（3）的上端且若干组吸盘组件（4）绕转盘（3）的轴心分布；打点器安装在吸盘组件（4）的上侧；驱动电机工作时，若干组吸盘组件（4）择一地与打点器位置对应。
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权利要求：
百度查询： 无锡联发易创科技有限公司 一种自动化晶圆打点装置
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