买专利卖专利找龙图腾,真高效! 查专利查商标用IPTOP,全免费!专利年费监控用IP管家,真方便!
申请/专利权人:乌海市京运通新材料科技有限公司
摘要:本实用新型公开了一种单晶炉副室气动球阀,具体涉及单晶炉副室控制技术领域,包括用于支撑的支撑座,所述支撑座上设置有导流连接组件,所述导流连接组件包括设置在支撑座底部的阀门主体,所述阀门主体的两端均设置有用于导流的法兰。本实用新型通过设置导流连接组件,气流能够通过法兰进行输送完成单晶炉副室的泄压工作,能减少晶棒发白,抽空不过的现象,气流通过加强管输送并导入过滤器内,通过流量计能够实时监测气流外泄的流量大小,有便于对其进行精准控制,提高装置在使用时的便捷性。
主权项:1.一种单晶炉副室气动球阀,包括用于支撑的支撑座(1),其特征在于:所述支撑座(1)上设置有导流连接组件;所述导流连接组件包括设置在支撑座(1)底部的阀门主体(2),所述阀门主体(2)的两端均设置有用于导流的法兰(3),且法兰(3)与阀门主体(2)相连通;所述支撑座(1)上设置有延伸至阀门主体(2)内用于启闭的转轴(4),所述支撑座(1)的顶部设置有用于控制的执行器(5),所述执行器(5)的顶部设置有控制器(7)。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 乌海市京运通新材料科技有限公司 一种单晶炉副室气动球阀
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息,力求客观、公正,但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解,仅供参考使用,不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。