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申请/专利权人：乌海市京运通新材料科技有限公司
摘要：本实用新型公开了一种单晶炉副室气动球阀，具体涉及单晶炉副室控制技术领域，包括用于支撑的支撑座，所述支撑座上设置有导流连接组件，所述导流连接组件包括设置在支撑座底部的阀门主体，所述阀门主体的两端均设置有用于导流的法兰。本实用新型通过设置导流连接组件，气流能够通过法兰进行输送完成单晶炉副室的泄压工作，能减少晶棒发白，抽空不过的现象，气流通过加强管输送并导入过滤器内，通过流量计能够实时监测气流外泄的流量大小，有便于对其进行精准控制，提高装置在使用时的便捷性。
主权项：1.一种单晶炉副室气动球阀，包括用于支撑的支撑座（1），其特征在于：所述支撑座（1）上设置有导流连接组件；所述导流连接组件包括设置在支撑座（1）底部的阀门主体（2），所述阀门主体（2）的两端均设置有用于导流的法兰（3），且法兰（3）与阀门主体（2）相连通；所述支撑座（1）上设置有延伸至阀门主体（2）内用于启闭的转轴（4），所述支撑座（1）的顶部设置有用于控制的执行器（5），所述执行器（5）的顶部设置有控制器（7）。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 乌海市京运通新材料科技有限公司 一种单晶炉副室气动球阀
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