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申请/专利权人：大连威钛克纳米科技有限公司

摘要：本实用新型公开了一种侧入式杠杆传动升降驱动拨叉机构，涉及真空镀膜技术领域，包括公转盘、安装轴筒、驱动机构、升降驱动拔插机构、安装料架；其中升降驱动拔插机构包括转架定位套、主轴滑套、摆动叉、连杆座、调距连杆、KF长连杆、调节气缸、电磁阀、弹簧压套盒；本实用新型通过在原有的驱动机构和安装料架之间加装杠杆传动升降驱动拨叉机构，从而可以使得料架可以快速的取放作业，而杠杆传动升降驱动拨叉机构采用侧入式的结构，通过杠杆传动压缩主轴上的驱动拨叉实现拨叉升降，杠杆传动通过金属波纹管导入真空室去除了传统机构的胶圈动密封，去除了漏气的情况，当拨叉压片升起后可与驱动拨叉分离即断开了电的传导，解决了绝缘问题。

主权项：1.一种侧入式杠杆传动升降驱动拨叉机构，其特征在于：包括公转盘1，并在其上的同一圆周上均匀设置多个料架安装位，在每个料架安装位处均设置一个安装通孔11，在每个安装通孔11内侧均过盈配合的安装有安装轴筒2，所述安装轴筒2的轴心处设置有同轴的下部的驱动机构3和上部的升降驱动拔插机构4，同时在所述公转盘1的顶面上设置有与所述升降驱动拔插机构4同轴的安装料架5；所述安装轴筒2与所述公转盘1固定设置，并在其顶端设置有与所述公转盘1顶面平齐的轴筒顶板21、底端设置有径向向外侧伸出的轴筒折边22，所述轴筒折边22的外侧通过卡钳螺钉23设置有过度法兰24，通过所述过度法兰24设置有驱动机构3；同时在所述安装轴筒2的侧方设置有升降驱动拔插机构4；所述驱动机构3包括通过螺栓安装在所述过度法兰24底面上的密封座31，所述密封座31的轴心处设置有驱动轴杆32，所述密封座31的顶端通过螺栓设置有密封座上盖33并且在所述驱动轴杆32的外侧设置有骨架油封34、底端通过螺栓设置有密封座下盖35，所述密封座31和所述驱动轴杆32之间从上至下依次设置有磁流体36和两个骨架油封34以及轴承37；所述驱动轴杆32的底端设置有大齿轮38；所述升降驱动拔插机构4包括在所述安装轴筒2轴心处同轴设置的转架定位套41，所述转架定位套41套设在所述驱动轴杆32的顶端并且在其外侧套设有主轴滑套42，所述主轴滑套42通过销轴铰接有摆动叉43，所述摆动叉43的末端与设置在所述公转盘1顶面上的连杆座44铰接，所述摆动叉43的中间处通过销轴铰接有调距连杆45，所述调距连杆45的末端通过销轴铰接有KF长连杆46，所述KF长连杆46的末端通过销轴铰接有调节气缸47，所述调节气缸47的缸体底端铰接在倒置的U型挂板48的一侧边，倒置的U型挂板48顶部的中间处固定设置在所述公转盘1的底面上，同时在所述U型挂板48的另一侧边设置有电磁阀49；所述转架定位套41的底端设置有套设在所述驱动轴杆32外侧的弹簧压套盒40。

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