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一种显微镜锁焦系统的锁焦控制方法及锁焦装置 

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申请/专利权人:广东粤港澳大湾区黄埔材料研究院

摘要:本发明属于显微镜技术领域,公开了一种显微镜锁焦系统的锁焦控制方法及锁焦装置,所述控制方法包括:获取光电探测器上光斑的线性区域的线性方程;判断所述第一光斑是否满足线性方程,若满足,则对第一光斑进行高斯拟合,得到第一高斯曲线;判断第一高斯曲线的第一线性度是否小于预设的第一阈值,若小于第一阈值,则获取第一高斯曲线的峰值点所对应的第一像素位置;将第一像素位置和起始点进行差值计算得到物镜的第一补偿距离;根据第一补偿距离移动物镜实现自动锁焦。有益效果:根据预先获取的线性区域对光斑是否为离散点,对获取的光斑进行筛选,避免使用误差较大的光斑进行锁焦系统的调节,提高了锁焦系统的调节精度和重复精度。

主权项:1.一种显微镜锁焦系统的锁焦控制方法,其特征在于,包括:获取光斑在光电探测器上的线性区域,定义所述线性区域的起始点,并根据起始点得到所述线性区域的线性方程;获取第一光斑并判断所述第一光斑的质心位置是否满足所述线性方程,若所述第一光斑的质心位置在所述线性方程上,则对第一光斑进行高斯拟合,得到第一高斯曲线;判断第一高斯曲线的第一线性度是否小于预设的第一阈值,若第一线性度小于预设的第一阈值,则获取第一高斯曲线的峰值点所对应的第一像素位置;将所述第一像素位置和起始点进行差值计算得到物镜的第一补偿距离;根据所述第一补偿距离移动物镜实现自动锁焦。

全文数据:

权利要求:

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