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申请/专利权人：合肥睿翼创智技术开发有限公司
摘要：本发明提出了一种多分镜头直接求交帧化法，解决现有倾斜扫描式光刻技术中数据处理路径过长、数据量巨大、处理效率低下的问题。通过优化数据处理流程，发明提供了两种生成多分帧图像的方法：全区域直接求交多分帧化法和分区域直接求交多分帧化法。全区域直接求交多分帧化法利用全区域帧化矩阵对合并的条带图形，直接确定像素点的开关状态，最终生成全区域帧图像。分区域直接求交多分帧化法利用区域帧化矩阵和区域条带图形，生成区域帧图像后，合并生成全区域帧图像。两种方法都简化了图形转换、条带切割、栅格化以及倾斜处理等传统步骤，减少了中间数据的生成与传输，显著提高了单次曝光的效率，优化了无掩膜光刻过程，提升了性能，降低了成本。
主权项：1.一种多分镜头直接求交帧化法：全区域直接求交多分帧化法，其特征在于，包括以下步骤，S11、构造全区域帧化矩阵：根据各成像区域的配置和扫描倾斜角，构造全区域帧化矩阵，根据任意一个成像区域条带图形的扫描起始位置和扫描结束位置确定帧化起始位置和帧化结束位置；S12、构造全区域条带图形：将各成像区域条带图形合并为一个全区域条带图形；S13、帧化全区域帧图像：通过判定当前位置的全区域帧化矩阵内像素坐标与全区域条带图形之间的包含关系，确定当前位置的所有像素点的开关，得到全区域帧图像；S14、更新帧化位置：更新当前帧化位置和全区域帧化矩阵；S15、重复上述S13、S14过程，直至帧化结束位置。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 合肥睿翼创智技术开发有限公司 多分镜头直接求交帧化法、设备及存储介质
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