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申请/专利权人：北京京东方技术开发有限公司;京东方科技集团股份有限公司
摘要：本发明提供了一种空间光调制装置、系统及方法，其中，空间光调制装置包括：驱动背板，包括衬底以及位于衬底上的驱动电路；至少一个调制单元，位于驱动背板上；各个调制单元包括第一子单元和位于第一子单元背离衬底一侧的第二子单元；第一子单元包括沿背离衬底间隔设置的第一控制部和可形变层；第二子单元包括沿背离衬底依次设置的压电层和第二控制部；压电层位于可形变层和第二控制部之间，且压电层和第二控制部在衬底上的正投影完全落入可形变层在衬底上的正投影的区域范围内；可形变层在第一驱动信号产生的静电力驱动下，沿靠近或者远离衬底的方向运动；压电层在第二驱动信号产生的逆压电效应的作用下，沿远离或者靠近衬底的方向发生形变。
主权项：1.一种空间光调制装置，其特征在于，包括：驱动背板，包括衬底以及位于所述衬底上的驱动电路；至少一个调制单元，位于所述驱动背板上，并与所述驱动电路电连接；各个所述调制单元包括第一子单元和位于所述第一子单元背离所述衬底一侧的第二子单元；所述第一子单元包括沿背离所述衬底间隔设置的第一控制部和可形变层；所述第二子单元包括沿背离所述衬底依次设置的压电层和第二控制部；所述压电层位于所述可形变层和所述第二控制部之间，且所述压电层和所述第二控制部在所述衬底上的正投影完全落入所述可形变层在所述衬底上的正投影的区域范围内；其中，所述驱动电路被配置为向所述第一子单元加载第一驱动信号，以及向所述第二子单元加载第二驱动信号；所述可形变层在所述第一驱动信号产生的静电力驱动下，沿靠近或者远离所述衬底的方向运动；所述压电层在所述第二驱动信号产生的逆压电效应的作用下，沿远离或者靠近所述衬底的方向发生形变。
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百度查询： 北京京东方技术开发有限公司 京东方科技集团股份有限公司 一种空间光调制装置、系统及方法
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